Jo, využívají, dokonce na čipech. V MEMS. Ale tam se hraje na kapacitu, ne na kanál tranzistoru a vzduch je tam jako dielektrikum / materiál, ve kterým se to pohybuje.
Tohle vidím jako prakticky nepoužitelnou věc. Z mnoha důvodů. Malý procházející proud (limitovaná zátěž), jenom jeden typ vodivosti ( zapomeň na push-pull, budou tam pasivní zátěže - odběr jak kráva ), citlivost na vibrace, ...
Prakticky, kdyby vyřešili problémy, se dostanou na úroveň NMOS čipů ze 70. let s tím, že tam stejně musí být Si na I/O buffery. A vývoj by začal od výkonu I8080 nanovo.